哪些因素會造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?
點擊次數:727 更新時間:2020-08-25
近經常有人問我們STS壓力傳感器的綜合精度和非線性誤差之間有什么關系,綜合精度包含哪些方面,哪些因素會造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?今天我來給大家說說這其中的關系,其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
1、非線性誤差:這是一個對STS壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
2、偏移量誤差:由于STS壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
3、靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
4、滯后誤差:在大多數情形中,STS壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
STS壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產設備,利用高新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行的誤差校準,盡大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。